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                用于C4F6?C5F8?COS的檢測器 TP-70DGⅡ

                特征:

                  通過采用含有催化劑的熱分解器,實現減少干擾帶來的影響
                  單觸式的傳感器更換方式
                  搭載新型智能化傳感器
                  采用易于觀察的大型字符LCD
                  搭載流量自動調整功能

                用途:

                  用于檢測半導體工廠內的C4F6/C5F8/COS
                  用于對儲氣瓶存放柜及半導體制造裝置進行檢測
                  用于無塵室內的環境監測

                產品類別

                固定式

                類型

                智能型檢測部

                檢測對象氣體

                C4F6/C5F8/COS

                檢測原理

                催化+定電位電解式

                檢測范圍

                05ppmC4F6?C5F8
                0
                15ppmCOS

                報警設定值

                1st2ppm/2nd:4ppmC4F6?C5F8
                1st
                5ppm/2nd:10ppmCOS

                檢測方式

                泵吸式

                報警種類

                氣體報警/故障報警

                報警內容

                1stALM1指示燈閃爍、或亮燈(紅色)
                2st
                ALM2指示燈閃爍、或亮燈(紅色)

                電源

                AC100240V±10%

                外形尺寸?重量

                180(W)×225(H)×285(D)mm(不包含突起部分)
                6.0kg

                使用時的溫濕度范圍

                2040℃無驟變
                40
                70%RH(無結露)

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